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介绍石英坩埚的制造方式

点击次数:   更新时间:19/03/11 10:39:03     来源:www.beachnutsvi.com关闭分    享:
  石英坩埚一般分为方形、圆形两大类:圆形的石英坩埚是用在单晶炉里拉制单晶硅的;方形的石英坩埚是用在多晶硅铸锭中的。下面的内容我们来介绍一些石英坩埚的制造方式:
  通常,圆形的石英坩埚分透明,不透明。透明石英坩埚,用石英玻璃管在氢氧火焰中,扩径、封端后,再吹制而成的。透明的石英坩埚具有石英玻璃的所有特性,它是高纯的二氧化硅体,对高纯硅的纯度影响低;它具有极低的膨胀系数、非常低的热导率、相当良好的电绝缘性,特别是耐温性能好,可在1450°C以下使用,所以可用在单晶炉里盛装熔化的多晶硅液体。但透明石英坩埚的制作工艺复杂,成本太高,而且容易导致不均匀的热传输,不利于电子工业的发展。
  另外,现在的制造方法还不能制造出大口径的透明石英坩埚。不透明的石英坩埚是用电弧法制成的,工艺简单,成本低。

石英坩埚

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